| 专利名称 | 基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置 | 申请号 | CN201711332195.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN109916508A | 公开（授权）日 | 20190621 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 李钦明;余永;杨家岳;丁洪利;张未卿;杨学明 | 主分类号 | G01J1/42 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置 至基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障