专利名称 | 一种低温生长富砷的镓砷锑薄膜的液相外延方法 | 申请号 | CN201510295876.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN105006428B | 公开(授权)日 | 20151028 | 申请(专利权)人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明(设计)人 | 王洋;胡淑红;吕英飞;戴宁 | 主分类号 | H01L21/208 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种低温生长富砷的镓砷锑薄膜的液相外延方法 至一种低温生长富砷的镓砷锑薄膜的液相外延方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
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