| 专利名称 | 激光光束匀化装置 | 申请号 | CN201210309070.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102819113A | 公开（授权）日 | 20121212 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 曾华林;何军;李丽艳;范松涛;佟有万;雷平顺;周燕 | 主分类号 | G02B27/09 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 激光光束匀化装置 至激光光束匀化装置 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障