| 专利名称 | 投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法 | 申请号 | CN201010243111.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101907833A | 公开（授权）日 | 20101208 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 赵磊;巩岩;张巍;倪明阳;王学亮;袁文全 | 主分类号 | G03F7/20 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法 至投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障