| 专利名称 | 硅片抛光机头吸盘 | 申请号 | CN01218504.3 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2470953Y | 公开（授权）日 | 20020109 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子中心 | 发明（设计）人 | 夏洋;张国海;欧文;申作成;钱鹤 | 主分类号 | H01L21/304 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 硅片抛光机头吸盘 至硅片抛光机头吸盘 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障