专利名称 | 一种对锗片进行清洗及表面钝化的方法 | 申请号 | CN201310737833.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN103681245A | 公开(授权)日 | 20140326 | 申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 王盛凯;杨旭;刘洪刚;孙兵;常虎东;赵威 | 主分类号 | H01L21/02 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种对锗片进行清洗及表面钝化的方法 至一种对锗片进行清洗及表面钝化的方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
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