| 专利名称 | 脉冲辅助过滤电弧沉积薄膜装置 | 申请号 | CN99248217.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2407016Y | 公开（授权）日 | 20001122 | 申请（专利权）人 | 中国科学院力学研究所 | 发明（设计）人 | 张勇;曹尔妍;李成明 | 主分类号 | C23C14/30 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 脉冲辅助过滤电弧沉积薄膜装置 至脉冲辅助过滤电弧沉积薄膜装置 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障