一种实现板状样品高分辨率大视野CL成像的扫描方法

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专利名称 一种实现板状样品高分辨率大视野CL成像的扫描方法 申请号 CN201410381423.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN105319225B 公开(授权)日 20160210 申请(专利权)人 中国科学院高能物理研究所 发明(设计)人 王雅霄;魏存峰;刘宝东;舒岩峰;阙介民;王燕芳;孟凡辉;周俊光;袁路路;邵雨濛;王哲;李卓昕;申善威;魏龙 主分类号 G01N23/046 IPC主分类号 专利有效期 一种实现板状样品高分辨率大视野CL成像的扫描方法 至一种实现板状样品高分辨率大视野CL成像的扫描方法 法律状态 说明书摘要

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