| 专利名称 | 一种用于光刻精密工件台的针孔检测镜头 | 申请号 | CN201510230493.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104808313A | 公开（授权）日 | 20150729 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 邓钦元;杨勇;胡松;程依光;刘俊伯;司新春;周毅 | 主分类号 | G02B13/00 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种用于光刻精密工件台的针孔检测镜头 至一种用于光刻精密工件台的针孔检测镜头 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障