| 专利名称 | 一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 | 申请号 | CN200910067350.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101625281A | 公开（授权）日 | 20100113 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 巩岩;李顺;张巍 | 主分类号 | G01M11/02 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 至一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障