含二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜的制备方法

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专利名称 含二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜的制备方法 申请号 CN200410011633.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN100465353C 公开(授权)日 20060705 申请(专利权)人 中国科学院兰州化学物理研究所 发明(设计)人 徐洮;杨生荣;陈刚;阎兴斌 主分类号 C25D9/08 IPC主分类号 专利有效期 含二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜的制备方法 至含二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜的制备方法 法律状态 说明书摘要

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