KDP类晶体生长过程中载晶架上杂晶的消除装置和方法

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专利名称 KDP类晶体生长过程中载晶架上杂晶的消除装置和方法 申请号 CN201910299107.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN110055578A 公开(授权)日 20190726 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 齐红基;陈端阳;邵建达;王斌;范永涛 主分类号 C30B7/00 IPC主分类号 专利有效期 KDP类晶体生长过程中载晶架上杂晶的消除装置和方法 至KDP类晶体生长过程中载晶架上杂晶的消除装置和方法 法律状态 说明书摘要

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