一种空间光束相位调控器件

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专利名称 一种空间光束相位调控器件 申请号 CN201710649376.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107390299B 公开(授权)日 20171124 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 韦欣;胡晓斌;宋国峰;李健 主分类号 G02B1/00 IPC主分类号 专利有效期 一种空间光束相位调控器件 至一种空间光束相位调控器件 法律状态 说明书摘要

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