密封型扫描探针显微镜扫描器

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专利名称 密封型扫描探针显微镜扫描器 申请号 CN97243160.8 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN2327067Y 公开(授权)日 19990630 申请(专利权)人 中国科学院上海原子核研究所 发明(设计)人 胡钧;孙洁林;徐耀良;李民乾 主分类号 H01J37/28 IPC主分类号 专利有效期 密封型扫描探针显微镜扫描器 至密封型扫描探针显微镜扫描器 法律状态 说明书摘要

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专利证书原件

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