| 专利名称 | 一种用于控制平面元件膜厚均匀性的镀膜工装 | 申请号 | CN201510902154.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105420681A | 公开（授权）日 | 20160323 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 张立超;才玺坤;贺健康;时光;武潇野;梅林;隋永新;杨怀江 | 主分类号 | C23C14/50 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种用于控制平面元件膜厚均匀性的镀膜工装 至一种用于控制平面元件膜厚均匀性的镀膜工装 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障