| 专利名称 | 一种五腔体全自动电子束沉积系统 | 申请号 | CN201310567063.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104630718A | 公开（授权）日 | 20150520 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 发明（设计）人 | 赵崇凌;赵科新;李士军;洪克超;徐宝利;张健;张冬;王磊;李松;林峰雪 | 主分类号 | C23C14/30 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种五腔体全自动电子束沉积系统 至一种五腔体全自动电子束沉积系统 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障