专利名称 | 一种双层结构的微机电系统微磁执行器的制作方法 | 申请号 | CN200710121076.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN101376491A | 公开(授权)日 | 20090304 | 申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 易亮;欧毅;陈大鹏;景玉鹏;叶甜春 | 主分类号 | B81C1/00 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种双层结构的微机电系统微磁执行器的制作方法 至一种双层结构的微机电系统微磁执行器的制作方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接,价格透明
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4、专员跟进,交易保障