用于硅片金字塔制绒的酸性制绒液、制绒方法以及采用该制绒方法制绒而成的硅片

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专利名称 用于硅片金字塔制绒的酸性制绒液、制绒方法以及采用该制绒方法制绒而成的硅片 申请号 CN201510729576.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN105405755A 公开(授权)日 20160316 申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 陈伟;刘尧平;杨丽霞;梁会力;梅增霞;杜小龙 主分类号 H01L21/306 IPC主分类号 专利有效期 用于硅片金字塔制绒的酸性制绒液、制绒方法以及采用该制绒方法制绒而成的硅片 至用于硅片金字塔制绒的酸性制绒液、制绒方法以及采用该制绒方法制绒而成的硅片 法律状态 说明书摘要

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