| 专利名称 | 柔性掩模板的制备方法 | 申请号 | CN201210224138.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102747319A | 公开（授权）日 | 20121024 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 祁琼;熊聪;刘素平;马骁宇 | 主分类号 | C23C14/04 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 柔性掩模板的制备方法 至柔性掩模板的制备方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障