| 专利名称 | 一种磷化铟晶圆片及其外延晶圆片的衬底抛光模具 | 申请号 | CN201811240107.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN109397070A | 公开（授权）日 | 20190301 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 于一榛;孙夺;曹高奇;邓双燕;杨波;邵秀梅;李雪;龚海梅 | 主分类号 | B24B37/30 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种磷化铟晶圆片及其外延晶圆片的衬底抛光模具 至一种磷化铟晶圆片及其外延晶圆片的衬底抛光模具 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障