| 专利名称 | 超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置和测量方法 | 申请号 | CN201610415169.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107504907A | 公开（授权）日 | 20171222 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 胡国行;单尧;谷利元;贺洪波;曾爱军 | 主分类号 | G01B11/06 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置和测量方法 至超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置和测量方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障