| 专利名称 | 一种低温去除硅中硼磷的方法 | 申请号 | CN201310637020.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103693647A | 公开（授权）日 | 20140402 | 申请（专利权）人 | 中国科学院等离子体物理研究所 | 发明（设计）人 | 李京伟;陈健;张涛涛;白枭龙;李彦磊;班伯源 | 主分类号 | C01B33/037 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种低温去除硅中硼磷的方法 至一种低温去除硅中硼磷的方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障