改善Ⅲ族氮化物MIS-HEMT欧姆接触的方法及MIS-HEMT器件

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专利名称 改善Ⅲ族氮化物MIS-HEMT欧姆接触的方法及MIS-HEMT器件 申请号 CN201710212313.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108695156A 公开(授权)日 20181023 申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 李夏珺;张宝顺;蔡勇;于国浩;付凯;张志利;孙世闯;宋亮 主分类号 H01L21/335 IPC主分类号 专利有效期 改善Ⅲ族氮化物MIS-HEMT欧姆接触的方法及MIS-HEMT器件 至改善Ⅲ族氮化物MIS-HEMT欧姆接触的方法及MIS-HEMT器件 法律状态 说明书摘要

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