| 专利名称 | 紧凑型光刻投影物镜 | 申请号 | CN201310565988.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103631002A | 公开（授权）日 | 20140312 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 蔡燕民;步扬;李中梁;曾爱军;王向朝;黄惠杰 | 主分类号 | G02B13/18 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 紧凑型光刻投影物镜 至紧凑型光刻投影物镜 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障