专利名称 | 一种金属氮化物阻挡层的制备方法 | 申请号 | CN201110033722.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN102623389A | 公开(授权)日 | 20120801 | 申请(专利权)人 | 北京泰龙电子技术有限公司;中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 王文东;夏洋;李超波;李勇滔;刘邦武;刘训春 | 主分类号 | H01L21/768 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种金属氮化物阻挡层的制备方法 至一种金属氮化物阻挡层的制备方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接,价格透明
2、平台验证,实名审核
3、合同监控,代办手续
4、专员跟进,交易保障