专利名称 | 制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法 | 申请号 | CN201910311808.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN110165017A | 公开(授权)日 | 20190823 | 申请(专利权)人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明(设计)人 | 廖明墩;叶继春;曾俞衡;闫宝杰;杨清;张志;郭雪琪;黄玉清;王志学 | 主分类号 | H01L31/18 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法 至制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接,价格透明
2、平台验证,实名审核
3、合同监控,代办手续
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