| 专利名称 | MOCVD设备的石墨托盘 | 申请号 | CN201410818493.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104451605A | 公开（授权）日 | 20150325 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 纪攀峰;孔庆峰;王文军;胡强;马平;曾一平;王军喜;李晋闽 | 主分类号 | C23C16/458 | IPC主分类号 | 专利有效期 | MOCVD设备的石墨托盘 至MOCVD设备的石墨托盘 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障