| 专利名称 | MEMS微执行器、原位单轴拉伸器件及其制作方法 | 申请号 | CN201810400599.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN110407154A | 公开（授权）日 | 20191105 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 王跃林;杨洋;张啸;李铁 | 主分类号 | B81B7/02 | IPC主分类号 | 专利有效期 | MEMS微执行器、原位单轴拉伸器件及其制作方法 至MEMS微执行器、原位单轴拉伸器件及其制作方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障