| 专利名称 | 极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法 | 申请号 | CN201510076613.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104597115B | 公开（授权）日 | 20150506 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 陈进新;王宇;吴晓斌;谢婉露;王魁波;崔惠绒 | 主分类号 | G01N27/64 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法 至极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障