一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法和装置

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专利名称 一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法和装置 申请号 CN201811396463.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN109270605A 公开(授权)日 2019.01.25 申请(专利权)人 中国科学技术大学 发明(设计)人 王翔;简伟明;王松子 主分类号 G02B3/00(2006.01)I IPC主分类号 G02B3/00(2006.01)I;G02B3/02(2006.01)I 专利有效期 一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法和装置 至一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法和装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提出一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法和装置,利用设置在台架(8)的一个开口向上的桶(1)和活塞(2)以及桶底部设置的具有不同分布的微小圆孔的可换的平面基底片(4),将不同体积的光刻胶(3)液滴挤出垂悬在平面基底片(4)的下平面的具有亲水性能的基底平面(5)上,液滴在基底平面(5)上铺展的同时,利用体积力的向下拉伸作用,来获得稳态的、非球面系数K<0的非球面面形光刻胶的垂悬液滴(6),再通过紫外光的固化来制作口径为数百微米至几毫米、平凸型的微小透镜及其阵列,从而减少像差的影响来提高光学系统的性能。

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