基于压电偏摆台的扭转角动态测量装置及方法

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专利名称 基于压电偏摆台的扭转角动态测量装置及方法 申请号 CN201711445483.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108278980A 公开(授权)日 2018.07.13 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 刘玉生;王志乾;刘畅;蔡盛;苏宛新;刘绍锦;李建荣;于帅北 主分类号 G01B11/26(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/26(2006.01)I 专利有效期 基于压电偏摆台的扭转角动态测量装置及方法 至基于压电偏摆台的扭转角动态测量装置及方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种基于压电偏摆台的扭转角动态测量装置及方法,装置包括基准发射光管和测量光管两个部件;以光纤耦合激光器A(1)作为点光源,经过扭转敏感组件A(2)上的偏振片(13),形成线偏振光,经准直物镜(3)后成为平行光,照射到测量光管;测量光管经接收物镜(4)接收线偏振平行光,通过压电偏摆台(5)使扭转敏感组件B(6)的偏振片产生角运动,当扭转敏感组件B(6)的偏振片与线偏振平行光偏振方向一致时,检偏PSD探测器(11)电流输出最大,扭转敏感组件B(6)的偏振片的偏摆角即为扭转角。本发明是一种将精简的光机结构和高灵敏度电子学系统结合,完成扭转角度快速、高精度测量的装置与方法。

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