| 专利名称 | 一种二氧化锡复合涂层及其制备方法 | 申请号 | CN201710533515.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107298583A | 公开（授权）日 | 2017.10.27 | 申请（专利权）人 | 中科院微电子研究所昆山分所 | 发明（设计）人 | 杜勇;王广欣;崔立虎 | 主分类号 | C04B35/457(2006.01)I | IPC主分类号 | C04B35/457(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 专利有效期 | 一种二氧化锡复合涂层及其制备方法 至一种二氧化锡复合涂层及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种二氧化锡复合涂层及其制备方法，所述二氧化锡复合涂层的制备方法包括以下步骤：a)将二氧化锡和石墨烯混合，依次进行等静压成型和烧结，得到石墨烯/SnO2复合陶瓷靶材；b)将步骤a)得到的石墨烯/SnO2复合陶瓷靶材进行磁控溅射，得到二氧化锡复合涂层。与现有技术相比，本发明采用石墨烯对二氧化锡进行掺杂改性，通过控制制备工艺及参数条件，提高石墨烯的掺杂率、减少杂质，并且制备得到的二氧化锡复合涂层厚度均匀，对气敏材料性能的提升有重要意义。实验结果表明，本发明制备得到了石墨烯掺杂的二氧化锡复合涂层，掺杂率高且杂质少；所述二氧化锡复合涂层的厚度均匀，为1μm～5μm。 |
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