| 专利名称 | 多气隙阻性井型探测器、放大单元、基材及制备方法 | 申请号 | CN201810869392.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN109052305A | 公开（授权）日 | 2018.12.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 周意;吕游;尚伦霖;张广安;鲁志斌;刘建北;张志永;王旭 | 主分类号 | B81B1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81B1/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 多气隙阻性井型探测器、放大单元、基材及制备方法 至多气隙阻性井型探测器、放大单元、基材及制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本公开提供一种多气隙阻性井型探测器、放大单元、基材及制备方法，该多气隙阻性井型探测器放大单元由下至上依次包括：底部DLC层、底部Apical层、Prepreg层、中部DLC层、顶部Apical层以及顶部DLC层；其中，该放大单元的上表面上形成有多个起始于顶部DLC层的上表面，终止于中部DLC层的上表面的井型孔。本公开提供的多气隙阻性井型探测器、放大单元、基材及制备方法中的多气隙阻性井型探测器放大单元是一个整体，不再需要依靠工作时电极产生的静电力来把单元上下两部分吸在一起，因此，在探测器打火放电，工作电压改变时，放大单元也不会因为静电力的改变而造成井型结构的变化，因此能极大的提高探测器的稳定性。 |
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