| 专利名称 | 一种位置测量传感器和位置测量系统 | 申请号 | CN201811073309.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN109099841A | 公开（授权）日 | 2018.12.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 薛金来;聂婷;毕国玲;梁怀丹;张星祥;陈长征 | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/00(2006.01)I;G01C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种位置测量传感器和位置测量系统 至一种位置测量传感器和位置测量系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种位置测量传感器包括第一框架、第一PSD探测器、第一激光器和半反半透分束镜，所述第一PSD探测器、所述第一激光器和所述半反半透分束镜均设置在所述第一框架上，所述半反半透分束镜位于所述第一PSD探测器的前端，射向所述第一PSD探测器的激光，一部分透过所述半反半透分束镜射向所述第一PSD探测器，另一部分被所述半反半透分束镜反射出去；本发明还提供了一种基于上述位置测量传感器的位置测量系统，能够实现非接触、高精度实时测量。 |
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