| 专利名称 | 一种电容式压力传感器及其制造方法 | 申请号 | CN201810610616.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN109060229A | 公开（授权）日 | 2018.12.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 王军波;魏秋旭;谢波;鲁毓岚;陈德勇;陈健 | 主分类号 | G01L9/12(2006.01)I | IPC主分类号 | G01L9/12(2006.01)I;G01L1/14(2006.01)I | 专利有效期 | 一种电容式压力传感器及其制造方法 至一种电容式压力传感器及其制造方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种电容式压力传感器，包括衬底层、绝缘层、器件层以及封装层。其中，衬底层具有可动极板区；绝缘层位于衬底层上方，绝缘层包括第一腔体，第一腔体位于可动极板区的上方，并贯穿绝缘层；器件层位于绝缘层上方，器件层包括固定极板区，固定极板区位于第一腔体上方，固定极板区具有贯穿器件层的多个微孔；以及封装层位于器件层上方，封装层包括第二腔体，第二腔体位于固定极板区上方；第一腔体和第二腔体通过多个微孔连通，以形成真空腔。传感器还包括贯穿封装层、器件层和绝缘层的第一引线孔；以及，贯穿封装层的第二引线孔；并且第一引线孔和第二引线孔均位于真空腔外侧。本发明还提供一种制造电容式压力传感器的方法。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障