| 专利名称 | 光刻投影物镜热像差的快速仿真方法 | 申请号 | CN201810603730.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108873615A | 公开（授权）日 | 2018.11.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 诸波尔;李思坤;王向朝;步扬;杨朝兴;唐锋 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻投影物镜热像差的快速仿真方法 至光刻投影物镜热像差的快速仿真方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光刻投影物镜热像差快速仿真方法，分为镜片表面光强仿真、镜片温度分布仿真和热像差仿真三个过程。镜片表面光强仿真过程先设定照明方式和掩模图形等参数，然后仿真光瞳面光强分布，通过光瞳映射的方式得到镜片表面光强分布；镜片温度分布仿真过程通过对投影物镜镜片进行平板近似，根据推导的温度分布公式快速仿真镜片温度分布；热像差仿真过程通过计算镜片热折边和热形变引起的光程差变化，拟合得到投影物镜热像差。本发明实现了光刻投影物镜热像差的快速仿真。 |
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