一种脉冲CO2激光器放电腔

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专利名称 一种脉冲CO2激光器放电腔 申请号 CN201810798770.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108933377A 公开(授权)日 2018.12.04 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 郭劲;邵春雷;陈飞;谢冀江 主分类号 H01S3/03(2006.01)I IPC主分类号 H01S3/03(2006.01)I;H01S3/038(2006.01)I 专利有效期 一种脉冲CO2激光器放电腔 至一种脉冲CO2激光器放电腔 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及气体激光器技术领域,具体公开一种脉冲CO2激光器放电腔,脉冲CO2激光器放电腔包括主放电专用电极、共用电极以及预电离放电专用电极;共用电极与预电离放电专用电极相对且相间设置,预电离放电专用电极位于最外侧;共用电极与预电离放电专用电极的整体,与主放电专用电极相对设置。本发明的脉冲CO2激光器放电腔采用了一种全新的结构形式,通过采用辉光放电产生等离子体电离的方式,可有效降低工作气体劣化的速率,从而使激光器连续运转时功率的下降速率与幅度也得到明显降低,从整体上提高了脉冲CO2激光器的性能,有利于此类激光器的进一步发展。

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