| 专利名称 | 微型热导检测器 | 申请号 | CN201810750496.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108918743A | 公开（授权）日 | 2018.11.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 孙建海;薛宁;刘春秀;马天军 | 主分类号 | G01N30/66(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N30/66(2006.01)I | 专利有效期 | 微型热导检测器 至微型热导检测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种微型热导检测器，包括基底、设置在基底上的热导池以及设置在热导池中的热敏电阻。热导池包括第一气流通道和第二气流通道，热敏电阻包括设置在第一气流通道中的相同的第一热敏电阻和第二热敏电阻以及设置在第二气流通道中的相同的第三热敏电阻和第四热敏电阻，第一热敏电阻和第二热敏电阻并行设置，第三热敏电阻和第四热敏电阻并行设置。本发明提供的微型热导检测器为一池双敏结构，每一个气流通道内的两个热敏电阻都是并行设置于同一热导池，消除了工艺带来热敏电阻阻值的不一致性，提高了微型热导检测器的灵敏度。 |
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