| 专利名称 | 一种MEMS原子腔 | 申请号 | CN201810572809.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108751118A | 公开（授权）日 | 2018.11.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 杜利东;刘振宇;赵湛;方震 | 主分类号 | B81B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81B7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种MEMS原子腔 至一种MEMS原子腔 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种MEMS原子腔，其包括：第一本体，其由第一玻璃基片、第二玻璃基片和带窗口的第一硅片形成，在第一本体的内部形成内腔室；以及加热组件，用于控制MEMS原子腔的工作温度。根据本发明的MEMS原子腔还包括第二本体，在第二本体的内部形成外腔室，第一本体容纳在外腔室内，在第一本体和第二本体之间包括真空绝热层。 |
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