可降低恢复时间的超导纳米线单光子探测器件及制作方法

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专利名称 可降低恢复时间的超导纳米线单光子探测器件及制作方法 申请号 CN201710257382.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108735851A 公开(授权)日 2018.11.02 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 张露;尤立星;王镇 主分类号 H01L31/09(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/09(2006.01)I;H01L29/16(2006.01)I;G01J11/00(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 专利有效期 可降低恢复时间的超导纳米线单光子探测器件及制作方法 至可降低恢复时间的超导纳米线单光子探测器件及制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种可降低恢复时间的超导纳米线单光子探测器件及制作方法,所述可降低恢复时间的超导纳米线单光子探测器件包括:超导纳米线;石墨烯结构,所述石墨烯结构结合于所述超导纳米线的底部。本发明通过在超导纳米线单光子探测器件中集成石墨烯结构,由于石墨烯具有高热导率和超快的载流子弛豫过程,克服了以往超导材料能量弛豫能力不足的难题,加速超导纳米线单光子探测器件能量弛豫过程,从而降低了超导纳米线单光子探测器件的恢复时间。

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