| 专利名称 | 一种润滑/导电双功能NbSe2薄膜的低温制备方法 | 申请号 | CN201810261644.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108517499A | 公开（授权）日 | 2018.09.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 郝俊英;刘金玉;徐书生;刘维民 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种润滑/导电双功能NbSe2薄膜的低温制备方法 至一种润滑/导电双功能NbSe2薄膜的低温制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种润滑/导电双功能NbSe2薄膜的低温制备方法。该方法采用氩气（纯度为99.99%）为溅射气体，NbSe2（纯度为99.9%）为溅射靶材，射频电源为溅射源，制备润滑/导电双功能NbSe2薄膜。此方法实现了薄膜的低温快速沉积。该固体薄膜结构均匀致密，且膜?基结合强度较好，具备良好的择优取向，在大气环境下（30%RH、20℃）具有优异的摩擦学性能(摩擦系数约为0.033)和良好的导电性能（静态接触电阻约为1.76×10?3Ω·cm），在动态接触滑动模式下依然呈现出优异的润滑/导电双功能。该NbSe2薄膜在电接触滑动部件表面处理领域具有广泛的应用前景。 |
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