| 专利名称 | 基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法 | 申请号 | CN201810180567.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108507488A | 公开（授权）日 | 2018.09.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 卢云君;唐锋;王向朝;严焱 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法 至基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法，检测系统包含：波面测量干涉仪，球面参考镜、汇聚镜、工件台和安装插口，待测锥镜安装在工件台上，其轴线与干涉仪光轴平行，汇聚镜的焦点位于锥镜轴线上，波面测量干涉仪测量锥镜表面法线环带区域的面形，通过工件台在锥镜轴线方向扫描定位，测量对应锥镜不同口径位置的环带面形，完成锥镜全口径面形的测量。具体测量过程：在安装插口安装球面参考镜，将凹锥镜置于工件台上，通过扫描完成凹锥镜面形W1的测量；在安装插口上将球面参考镜更换为汇聚镜，加入凸锥镜，完成凹锥镜和凸锥镜的组合面形W2的测量，凸锥镜的面形为W2?W1。本发明具有测量精度高、测量成本低的特点。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障