| 专利名称 | 一种平面全息光栅扫描曝光装置的调试方法 | 申请号 | CN201810132412.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108469643A | 公开（授权）日 | 2018.08.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 巴音贺希格;宋莹;唐玉国;姜珊;李文昊;齐向东 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种平面全息光栅扫描曝光装置的调试方法 至一种平面全息光栅扫描曝光装置的调试方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种平面全息光栅扫描曝光装置的调试方法，便于快速完成装置的调试，缩短测试时间，可以利用毫米级干涉图样进行平面全息光栅的扫描曝光，避免了传统平面全息光栅曝光装置中，大口径光学元件上的瑕疵对光栅制作的影响，且可以对曝光过程中的扰动进行扫描均化，系统组成较为简单、成本较低、对环境要求较低。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障