| 专利名称 | 束流自适应校正器件及校正电极板 | 申请号 | CN201810139891.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108364839A | 公开（授权）日 | 2018.08.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院近代物理研究所 | 发明（设计）人 | 于得洋;薛迎利 | 主分类号 | H01J3/12(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J3/12(2006.01)I | 专利有效期 | 束流自适应校正器件及校正电极板 至束流自适应校正器件及校正电极板 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种束流自适应校正器件及校正电极板。该校正器件包括：两个相对设置的校正电极板，该校正电极板包括：绝缘基板；校正电极阵列，分布于绝缘基板之上，包含多个校正电极，多个校正电极之间通过电阻串互相连接在一起；吹风电极阵列，包含多个吹风电极，每个吹风电极分布于校正电极之间，多个吹风电极上可分别加载正负电压，形成空间上排布的正负电场；以及接地电极阵列，包含多个接地电极，每个接地电极分布于吹风电极与校正电极之间。该校正器件能够使出射的带电粒子束保持恒定的出射方向，而不随入射带电粒子束的轨迹变化而发生改变，达到自适应校正补偿，且不受器件几何结构精度、供电系统稳定度及灵敏度等的局限。 |
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