| 专利名称 | 锥形镜柱面镜面形的测量装置及测量方法 | 申请号 | CN201810140014.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108362225A | 公开（授权）日 | 2018.08.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 严焱;唐锋;王向朝;卢云君;彭常哲;董冠极 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 锥形镜柱面镜面形的测量装置及测量方法 至锥形镜柱面镜面形的测量装置及测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种锥形镜柱面镜面形测量装置及测量方法，测量装置包括波面测量干涉仪、干涉仪支架、精密旋转台和转台实时测量系统，所述的波面测量干涉仪安装在干涉仪支架上；所述的转台实时测量系统包含辅助测量圆柱体和5个精密位移测量传感器。本发明具有高精度、低成本、高通用性且能同时测得待测元件面形信息和精密旋转台主轴回转误差，同时去除同步误差和异步误差的特点。 |
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