| 专利名称 | 一种锥形镜锥角的检测装置和方法 | 申请号 | CN201810078326.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108332686A | 公开（授权）日 | 2018.07.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 严焱;唐锋;王向朝;卢云君;彭常哲;董冠极 | 主分类号 | G01B11/26(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/26(2006.01)I | 专利有效期 | 一种锥形镜锥角的检测装置和方法 至一种锥形镜锥角的检测装置和方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种锥形镜的锥角检测装置，包括干涉仪，球面标准镜，五维调整架，精密移动台，精密位移测量传感器；从所述的干涉仪输出的平面波方向依次是同光轴的球面标准镜，待测锥形镜和精密位移测量传感器；所述待测锥形镜固定在所述五维调整架上，该五维调整架置于所述精密移动台上，该精密位移测量传感器测量所述的精密移动台的移动量，通过移动锥形镜得到两次干涉结果，通过相位差计算出待测锥形镜的锥角。本发明具有装置结构简单，操作方便，测量精度高，通用性高的优点。 |
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