一种稀土钇掺杂的二硫化钼自润滑复合涂层及其制备方法

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专利名称 一种稀土钇掺杂的二硫化钼自润滑复合涂层及其制备方法 申请号 CN201611096673.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108149220A 公开(授权)日 2018.06.12 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 易剑;李明磊;王少龙;褚伍波;马洪兵;江南 主分类号 C23C16/30(2006.01)I IPC主分类号 C23C16/30(2006.01)I 专利有效期 一种稀土钇掺杂的二硫化钼自润滑复合涂层及其制备方法 至一种稀土钇掺杂的二硫化钼自润滑复合涂层及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种稀土钇掺杂的二硫化钼自润滑复合涂层及其制备方法。具体地,本发明的二硫化钼自润滑复合涂层中掺杂稀土元素钇,其中,所述的复合涂层中的钇元素摩尔含量为0.1%~5%,按所述复合涂层的总摩尔量计。本发明采用升华硫(S)、六水合氯化钇(YCl3·6H2O)和三氧化钼(MoO3)粉为原料,利用化学气相沉积工艺制备稀土钇掺杂的二硫化钼自润滑复合涂层。本发明的二硫化钼自润滑涂层具有良好的耐磨性和自润滑性,以及优异的绕镀性,可以在形状的大尺寸复杂工件上实施涂层沉积。

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