基于光开关阵列的干涉光谱仪及制作方法

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专利名称 基于光开关阵列的干涉光谱仪及制作方法 申请号 CN201711380932.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108120504A 公开(授权)日 2018.06.05 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 陶金;吕金光;秦余欣;孟德佳;梁静秋;王维彪;梁中翥 主分类号 G01J3/45(2006.01)I IPC主分类号 G01J3/45(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I 专利有效期 基于光开关阵列的干涉光谱仪及制作方法 至基于光开关阵列的干涉光谱仪及制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 基于光开关阵列的干涉光谱仪及制作方法,涉及红外光谱探测与红外光谱分析技术领域,解决传统时间调制傅里叶变换红外光谱仪由于采用高精度的动镜驱动系统带来的体积大、重量沉等问题,并存在空间调制傅里叶变换红外光谱仪由于采用制冷型红外面阵探测器带来的成本高等问题,由光源、准直镜、分束器、横向阶梯相位反射镜、纵向阶梯相位反射镜、光开关阵列、聚焦镜和点探测器组成。本发明利用两个阶梯相位反射镜分别对被分束器分开的两个正交的相干光场进行分布式相位调制,并利用光开关阵列与点探测器对干涉光场进行振幅调制实现分步式选通和探测的光谱仪。本发明降低了成本,具有微小型化、轻量化、低成本、便携性好等优点。

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