一种制冷CCD真空杜瓦密封装置

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专利名称 一种制冷CCD真空杜瓦密封装置 申请号 CN201711329840.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108087555A 公开(授权)日 2018.05.29 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 聂山钧;王明富;高晓东;廖靖宇 主分类号 F16J15/28(2006.01)I IPC主分类号 F16J15/28(2006.01)I 专利有效期 一种制冷CCD真空杜瓦密封装置 至一种制冷CCD真空杜瓦密封装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种制冷CCD真空杜瓦密封装置,包括底座、上盖、螺杆、弹簧、橡胶圈及杜瓦。将真空计和真空泵连接到底座上;杜瓦内部器件组装好后,将杜瓦底座和杜瓦上盖放置在底座中,用弹簧将杜瓦上盖撑起使之与杜瓦底座之间留有一定的间隙;螺杆与上盖用橡胶圈设计为动密封,然后用橡胶圈将上盖与底座进行密封;用真空泵将腔体抽真空,预排气一段时间后通过螺杆拧紧杜瓦上的紧固螺栓,以此用银丝将杜瓦上盖与杜瓦底座进行密封,从而保证杜瓦内部的高真空度。该密封方式具有结构简单、漏率低且可拆卸的优点。该系统适用于制冷型CCD相机制冷领域。

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