一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪

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专利名称 一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪 申请号 CN201711324980.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108061639A 公开(授权)日 2018.05.22 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 鲍华;饶长辉;饶学军;朱磊;郭有明;张兰强;孔林;钟立波 主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I 专利有效期 一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪 至一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪,由光源激光器、平行光准直系统、光束共轭?匹配系统、波前校正器、相位差波前传感器和高性能计算处理系统组成,所述的波前测量仪:利用波前校正器为相位差波前传感器引入多组精确已知的相位差异信息,构成多通道相位差波前畸变约束,显著提高传统相位差法的像差探测范围和灵敏度;利用波前校正器、相位差波前传感器和高性能计算处理系统构成自适应光学波前像差闭环校正?测量系统,对校正后的残余像差进行持续检测,使得经相位补偿后的畸变光波将逐步并最终逼近理想光学平面光波,此时波前校正器的校正量即为待测波前像差的准确数值。

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